1. 产品概述
MBE(分子束外延)钼基板是一种专为高精度薄膜生长工艺设计的关键部件,广泛应用于半导体、光电材料和量子器件等领域。钼基板以其优异的热稳定性、高纯度和良好的机械性能,成为MBE设备中不可或缺的核心组件。
2. 产品特点
- 高熔点:钼的熔点高达2620°C,适合高温外延生长环境。
- 优异的热导率:确保基板表面温度均匀分布,避免局部过热。
- 高纯度:采用高纯度钼材料,减少杂质污染,提升薄膜质量。
- 良好的机械强度:在高应力条件下保持稳定,延长使用寿命。
- 耐腐蚀性:在超高真空和化学活性环境中表现出色。
- 定制化设计:可根据客户需求提供不同尺寸、形状和表面处理的基板。
3. 应用领域
- 半导体制造:用于GaAs、GaN、SiC等材料的分子束外延生长。
- 光电材料:用于激光器、探测器等光电器件的外延生长。
- 量子器件:用于量子点、量子阱等纳米结构的外延生长。
- 科研实验:适用于高精度薄膜生长和新材料研究。
4. 技术参数
- 材质:高纯度钼(Mo)
- 熔点:2620°C
- 热导率:138 W/m·K
- 密度:10.2 g/cm³
- 纯度:≥99.95%
- 尺寸:支持定制(直径、厚度等)
- 表面处理:可提供抛光、涂层等定制化处理
5. 产品优势
- 高性能:在高温和超高真空条件下保持稳定,确保外延生长质量。
- 长寿命:耐高温、耐腐蚀,减少设备停机时间和维护成本。
- 高精度:表面平整度高,确保薄膜生长均匀性。
- 定制化服务:根据客户需求提供个性化设计和制造服务。
- 优质售后服务:提供全面的技术支持和维护服务。
6. 使用与维护
- 安装:确保基板与设备匹配,避免机械应力。
- 清洁:定期清理表面污染物,保持高纯度和性能。
- 检查:定期检查磨损和腐蚀情况,及时更换或维护。
7. 适用设备
- MBE(分子束外延)设备
- 超高真空薄膜沉积设备
- 其他高精度外延生长设备
MBE钼基板凭借其优异的性能和可靠性,在半导体、光电材料和量子器件等领域发挥着重要作用。无论是大规模生产还是科研实验,钼基板都能提供高效、稳定的支持,是MBE设备中的核心组件。
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